电容式传感器Model 6810-天津瑞利-MICROSENSE

MICROSENSE电容式传感器Model 6810

产品型号：Model 6810

产品介绍

Model 6810高分辨率电容式传感器为位置和位移测量提供了高性能。6810专为高速旋转或振荡目标的“高动态”测量而设计，如硬盘驱动器主轴电机、空气轴承主轴和机械轴承机床主轴。应用包括跳动测量，如轴向和径向NRRO（不可重复的跳动或非同步误差运动），其需要1至2 nm rms或更好的分辨率。

性能特点

l 先进的低噪声设计提供亚纳米级的测量分辨率

l 电容式位移测量

l 传感-目标材料或反射率对测量精度没有影响

l 高测量带宽，从1 kHz到100 kHz，适用于“高动态”应用

l 完全非接触式设计

l 高分辨率，低至亚纳米级（在50微米的测量范围内，5kHz时为0.25纳米rms）

l 用户可选择的测量带宽（1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz）

l 测量范围从20微米到几毫米

l 行业标准±10伏模拟输出

l 经过认证的、NIST可追溯的校准精度（每个装置都提供校准证书）

l 非常紧凑，包括MicroSense隔离低噪声电源

l 提供3U欧洲卡格式

l 与MicroSense的6000系列传感器兼容，有多种尺寸可供选择

技术参数

产地：美国

标准测量范围：±25µm、±50µm、±100µm、250µm、500µm、750µm

（校准范围取决于传感器尺寸）

模拟输出：±10伏满量程、单端和差分（选项±5伏、0–10伏）

传感器输入：MicroSense 6000系列探头和传感器

测量带宽（@-3dB）：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz（跳线可选）

满量程范围内的线性度：0.25%

稳定性：200 ppm/˚C

目标材料：任何导电材料（也可提供玻璃或陶瓷等非导电材料的传感器）

超范围检测：TTL输出和前面板LED指示

前面板调整：比例系数、零偏移、限制设置

工作环境（温度）：0至50˚C

工作湿度：<85%RH，非冷凝

电源要求：90至240 VAC，50/60 Hz

尺寸：175毫米（长）x 110毫米（宽）x 40毫米（高）

重量：0.5kg，电源0.8kg

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