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Q300T D Plus–双靶顺序溅射镀膜仪,适用150mm直径的试样
Q300T D Plus适用于两种材料的多层顺序溅射,具有两个独立的溅射头,无需破坏真空即可连续溅射两种金属。该系统是全自动的,用户定义的配方可以控制泵、镀膜顺序、镀膜时间、溅射循环次数和工艺过程中使用的电流等。通过在两个靶之间循环,可以依次溅射来自两种靶材料的厚度不同的膜层。不使用时,镀膜腔室可保持在真空环境下,以防止污染。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费现场培训
免费仪器保养: 一年两次
保内维修承诺: 保修期内人工与配件全包
报修承诺: 24小时电话技术支持,如需上门3个工作日内到达用户现场
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