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TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台
概述
STACIS®4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。
起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。
STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。
STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense™专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。
STACIS 4的优点：
STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。
独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。
比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。
稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。
STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。
性能
在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。
性能规格
主动减振自由度 | 6 |
主动减振频段 | 0.2 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz |
有效主动谐振频率 | 0.35Hz |
在1 Hz的减振 | 85% - 96% |
在2 Hz的减振 | 96-99.9% |
稳定时间（典型） | 0.2 秒 |
内部噪音 | ＜0.05nm RMS |
单个隔振器的工作负载范围 | 低负载：400-1100 lb（182-500 kg） 中负载：900-2100 lb（410-955 kg） 高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg） |
刚度 | 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例） |
磁场强度 | ＜0.02μg 宽频 RMS |
隔离器尺寸、环境和使用要求
环境与安全 | 通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准 |
主动隔振单元 | 压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷 |
被动隔振单元 | 单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应） |
振动传感器 | 检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号 |
主动反馈控制回路 | 在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减 |
隔振器尺寸 （宽x深x高） | 11.75 × 12.5 × 10.8 in. 300 × 320 × 275 mm |
隔振器重量 | 75lb （34 kg） |
操作温度 | 50°- 90°F 10°- 32°C |
储存温度 | -40°- 130°F -40°- 55°C |
湿度 | 华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃ |
系统电源要求 | 100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE认证 |
每个系统的隔振器数量 | 最少3个 |
选项 | 层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等 |
DC-2020 控制器规格
尺寸（宽×深×高） | 19 × 8.5 × 1.75 in. 483 × 216 × 45 mm |
重量 | 6.3 lb（2.9 kg） |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16频道 |
模拟输入 | 16频道 |
状态指示灯 | 单个LED灯 |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个Ethernet RJ-45 2个BNC |
后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个Ethernet RJ-45 1个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器 |
用户界面 | 前面板液晶显示器 终端程序上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式Ethernet GUI |
STACIS 4界面
STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。
通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。
网页用户界面增强版
TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。
STACIS系列产品参数对比
型号 | STACIS III | STACIS IIIc | STACIS 4 |
产品 |
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新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。 |
主动减振自由度 | 6 | 6 | 6 |
主动减振频段 | 0.6 Hz - 150 Hz | 0.6 Hz - 150 Hz | 0.2 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz | 被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz | 被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz |
有效主动谐振频率 | 0.5Hz | 0.5Hz | 0.35Hz |
在1 Hz的减振 | 40% - 70% | 40% - 70% | 85% - 96% |
在2 Hz的减振 | ≥90% | ≥90% | 96-99.9% |
10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少） | 0.3s | 0.3s | 0.2s |
内部噪音 | ＜0.1nm RMS | ＜0.1nm RMS | ＜0.05nm RMS |
性能 |
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单个隔振器的工作负载范围 | 低负载：400-1100 lb（182-500kg） 中负载：900-2100 lb（410-955kg） 高负载：1900-4500 lb（864-2045kg） | ||
刚度 （1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器） | 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) | ||
距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出 | ＜0.02μg 宽频 RMS | ||
地面位移要求 | <480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz | <480 μin. (12 μm) 低于10 Hz | - |
从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。
医疗/卫生 2023-08-08
医疗/卫生 2023-08-08
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费培训
免费仪器保养: 每年免费保养1次
保内维修承诺: 除人为原因外，免费维保
报修承诺: 24小时内到达现场
什么是主动隔振系统，这些系统是如何使用的? 主动隔振可以最好地描述为“主动”消除机械振动而不仅仅是响应或过滤振动的隔振系统。主动隔离利用惯性传感器监测振动，并通过反馈和/或前馈控制回路处理该信号，然后驱动致动器，从而减轻测量到的振动。
TMC光学平台STACIS 4的工作原理介绍
光学平台STACIS 4的使用方法?
TMCSTACIS 4多少钱一台?
光学平台STACIS 4可以检测什么？
光学平台STACIS 4使用的注意事项？
TMCSTACIS 4的说明书有吗？
TMC光学平台STACIS 4的操作规程有吗？
TMC光学平台STACIS 4报价含票含运吗？
TMCSTACIS 4有现货吗？
