Table Stable 主动减震台-隔振台-防震台
AVI-600（S/M/XL）
产品描述：
◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-600系列（S\M\XL）是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-减震台，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振，1Hz - 200Hz主动隔振，>200Hz被动隔振），抵消敏感设备的不必要振动；可在宽频率范围内为各类电子显微镜等高分辨率的超精密仪器提供业界领先的主动隔振性能 。
◆主动减震台-隔振台 AVI-600 的主动隔振频率从1Hz开始，在10Hz以上迅速增加到35dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。
◆适用于透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）等主动减震台！具体可欢迎咨询拓睿科技。
（图1：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600S）
（图2：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600M）
（图3：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600XL）
产品工作原理：
◆Table Stable AVI系列-主动减震台-隔振台-防震台采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型；擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。
◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。
产品规格/技术参数：
◆型号：AVI-600系列
| 型号 | 隔振单元重量 | 单元尺寸(每个) |
| AVI-600S/LP | 22.5 kg | 288 x 396 x 112.5 Hmm |
| AVI-600M/LP | 29.0 kg | 288 x 720 x 112.5 Hmm |
| AVI-600XL/LP | 33.8 kg | 318 x 856 x 112.5 Hmm |
系统配置（System Configuration） | 基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置 |
控制器尺寸（Size） | 448 x 286 x 143 Hmm |
负载能力（Load capacity） | 0~1200 kg（单个隔振模块为0~600Kg） |
隔离技术（Isolation technology） | 高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器 |
校正方向（Correction directions） | 三轴六自由度全方位隔振； 针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。 |
隔离范围（Isolation） | 频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振 |
传递率（Transmissibility） | 在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载 |
矫正力（Correction Forces） | 水平方向最大12N，垂直方向最大24N |
静态柔度（Static Compliance） | 垂直约1.0µm/N，水平约2.0µm/N |
系统噪音（System Noise） | 在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz |
输入电压（Input Voltage） | 100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz |
功耗（Power Consumption） | 通常为27W |
过载指示(Overload Indication) | 24个led表示输出阶段的过载状态 |
监视器信号(Monitor Signal) | 可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平 |
安全等级(Safety class) | 1 |
防护等级(Protection class) | IP 20 |
温度范围(Temperature range) | 5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F |
相对湿度（Relative humidity） | 10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F） 10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F） |
使用场所（Application） | 仅用于室内 |
工作高度（Altitude） | 高达2,000 m（6500ft） |
*选项一：低频传感器(LFS-3) | 配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。 |
*选项二： 遥控箱（Remote control box） | 远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。 |
*选项三： 调制盒(Modulation Input box) | 允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。 |
Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 减震-隔振性能效果：
性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。
Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；
