EMMI/OBIRCH 微光显微镜
PHEMOS--X C15765-01
PHEMOS-X 是一种高分辨率发射EMMI显微镜,可通过检测由半导体器件缺陷引起的微弱光发射和热发射来精确定位半导体器件中的故障位置。 由于PHEMOS-X可与通用探针结合使用,您可以使用您正在使用的样品设置来完成各种分析任务 已经熟悉了。安装可选的激光扫描系统可以获取高分辨率图案图像。不同类型的检测器可用于各种分析技术,例如发射分析、热分析和IR-OBIRCH 分析。 PHEMOS@-X支持从探测器插座板到 大型 300 mm 晶探测器
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 可现场培训
免费仪器保养: 具体情况进项讨论
保内维修承诺: 工程师免费上门服务
报修承诺: 24小时内到达现场
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