TVS-SMM系列MEMS二维扫描镜

产品说明 

TVS-SMM系列MEMS二维扫描振镜是一种基于静电力式的矢量扫描器件，具有四个静电双向旋转器，通过特殊的硅支架连接。当给定稳态模拟高压驱动信号MEMS镜像会产生的稳态模拟转角，并且高度可重复。同时，它也可以工作在谐振模式下，器件在较低的工作电压下即可得到更大的扫描角度。因此，通过改变驱动信号的形式，可以很容易的得到3种扫描模式，即点对点扫描模式（双轴准静态）、栅格扫描模式（快轴近谐振，慢轴准静态）和李萨如扫描模式（双轴近谐振）。该MEMS扫描镜具备体积小、扫描角较大、双轴可同时兼容准静态及谐振控制、功耗极低等特点，在生物成像、激光雷达、抬头显示等领域具有很大应用空间。

产品应用

• 激光雷达、激光测量、抬头显示、投影

• 双光子成像、共聚焦成像、光学成像

产品优势

• 体积小、重量轻：集成款基于LCC20封装，集成度高

• 控制形式丰富：双轴都可以转静态或谐振控制，支持3种扫描模式

• 速度与扫描角的平衡：多款型号可选，可以同时满足扫描频率与扫描角的要求

• 低功耗：基于静电力式驱动，功耗基本可忽略不计

• 定制化：输出接口可定制化