港东科技SGC-2自动椭圆偏振测厚仪

仪器简介：

本仪器为我公司的专利产品，主要分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分。 

1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。

2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。

3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。

4、  电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。

技术参数：

测量范围：1nm～4000nm；
测量最小值：≤1nm；
镀膜折射率范围：1~ 10
入射角：20°～90°　　误差≤0.05°；
偏振器方位角范围：0°～180°；
偏振器步进角：0.014°/步；
仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm；
光学中心高度：80㎜；
允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤16㎜；
外形尺寸：730 x230X 290；
主机重量：30kg；

主要特点：

1、仪器采用消光式椭圆偏振方式测量，具有精度高、自动控制等特点。
2、光源采用氦氖激光，波长精度高。
3、仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件对采样数据具有多种处理方式适用于不同需要，同时软件有完整版及学生版两种版本适用于教学要求。
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