三丰表面粗糙度·轮廓测量一体机CS-5000CNC

X1 轴

测量范围

200mm 

分辨力

0.00625μm 

长度基准

激光全息测微计

驱动速度

CNC型

最大40mm/s 

操纵杆

0 - 40mm/s

测量速度

 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)

测量方向

向前/ 向后 

直线度

(使用标准测针) 

(0.1+0.0015L)μm    L: 驱动长度 (mm) 

(0.05+0.0003L)μm    L: 驱动长度 (mm)

(使用二倍长型测针)

(0.2+0.0015L)μm    L: 驱动长度 (mm)

(0.1+0.0015L)μm    L: 驱动长度 (mm) 

精度 (20oC)

±(0.3+0.002L)μm    L: 驱动长度 (mm) 

±(0.16+0.001L)μm    L: 驱动长度 (mm)

Z1 轴 (检出器)

测量范围

(使用标准测针) 

12mm

12μm

(使用二倍长型测针) 

24mm

24μm

分辨力

(使用标准测针) 

0.004 μm

0.001 μm

(使用二倍长型测针)

0.008 μm

0.002 μm

测针针尖垂直运动

 弧形移动

长度基准 

激光全息测微计

精度 (20oC)

(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm  H: 测量高度 (mm) 

±(0.07+|0.02H|)μm  H: 测量高度 (mm)

测力

(使用标准测针) 

4mN (固定)

(使用二倍长型测针)

 0.75mN(固定)

跟踪角度

向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度)

测针针尖形状

标准测针

针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 

标准球头测针

球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针

 2倍测针

针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 

 2倍测针

-

 针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 2倍球头测针

2倍球头测针

球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 

测针方向

 向下

Z2 轴 (立柱)

行程范围

Z2 轴 (立柱, S 型)

300mm

Z2 轴 (立柱, H 型)

500mm-

分辨力

0.05μm

长度基准

反射型线性编码器

驱动速度

CNC型

 最大200mm/s 

 操纵杆

 0 - 50mm/s 

基座尺寸 (W×D) 

750×600mm

基座材料

花岗岩