明眸科技 大视场相位显微镜 MMTScope
明眸科技 大视场相位显微镜 MMTScope

¥30万 - 50万

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MMTScope-1

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中国大陆

  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

明眸科技是国内以计算相位显微成像为核心技术的机器视觉公司,目前针对光学元件无色、透明、透光无法成像的问题,研发了集光学、控制、计算成像、图像处理等多学科为一体的大视场相位显微镜(图1),突破了透明样本中气泡、裂纹等缺陷无法成像的技术难题,填补光学显微成像领域在毫米级成像视场、亚微米级分辨率的定量相位显微成像领域的空白。公司掌握了光学设计、集成制造、算法软件等核心技术,实现了光学镜片、镜头表面缺陷检测、胶合透镜、手机玻璃背板和镜头模组的分层检测,解决了光学元件“透、厚、微”缺陷快速精密检测的难题。

构成.png

1大视场相位显微镜完整设备图

显微成像技术的发展达到了一定高度,其成像系统虽然能够达到亚微米级分辨率,但由于光学元件具有高透明、高透光的特征,使得划痕、麻点等缺陷成像对比度极低,缺陷成像难以定量。此外,分辨率越大,视场越小,导致检测扫描时间长,检测效率低。从成像技术角度讲,可归纳为存在相位信息无法定量成像、大视场与高分辨无法兼顾2个痛点。

1)相位信息丢失导致对无色透明样本成像无能为力。现有的大多数光电采集只能感应到光场强度或入射波长的改变,而无法直接响应其相位变化,导致物体的相位信息在数据采集过程中被丢失,无法进行清晰有效的高对比度成像。表现为对无色透明样本的定量相位成像困难,对于其中的气泡等缺陷无能为力。

2)大视场与高分辨无法调和导致检测效率低。当前的光学显微镜,受到物镜数值孔径比例法则的制约:使用低倍镜观察,视场大但分辨率较低;使用高倍镜观察,分辨率高但视场小。如不能解决大视场与高分辨兼顾问题,会导致检测效率极低。

为解决上述问题,本产品基于昆虫复眼的仿生原理,使用 LED 光源阵列仿生昆虫复眼结构,通过点亮不同位置处的 LED从不同照射角度对目标样本进行照明,采集一组不同角度含有不同频域信息的低分辨率强度图像。再使用计算成像中的相位恢复算法,在频域中对采集图像的频谱值进行融合,进而重构出兼顾大视场,高分辨率的相位图像。产品光路图如图2所示。

光路.png

得益于仿生计算光学成像算法,本产品有如下的优势:

1) 常见的缺陷如划痕、裂纹、突起等,会引入光程差从而导致成像模糊。本产品具备的定量相位图成像功能则规避了这一干扰,使得缺陷图像清晰呈现。

2) 本产品可以进行焦面选择,保证成像在具体某一层,从而降低其他面对成像面(缺陷检测面)的干扰。

3) 本产品在采用低倍物镜的条件下,保证大视场的同时还能兼顾高分辨成像,能加快透镜检测效率,为工厂提升效益。

4) 无色透明的气泡缺陷成像对比度低,难以区分,而本产品的仿生结构能实现定量相位成像,折射率不同的气泡将导致入射光的光程差,相位图能敏锐地捕捉这种差异,清晰检测气泡缺陷

产品在不同倍率物镜下所能达到的成像参数如表1所示,由于采用了计算成像算法及自适应照明LED阵列,系统合成孔径得到明显增大,在同等放大倍率的物镜下,成像分辨率得到大幅提升。以2倍镜为例,2倍镜的数值孔径NA0.055,在蓝光(波长465nm)下,分辨率为5.157μm;在2/3″靶面大小的CCD下,视场大小为4.40mm。通过孔径融合计算成像算法,本系统有效照明孔径可达0.4,故能将成像数值孔径NA提高到0.455,在蓝光(波长465nm)下,分辨率为0.623μm,对应传统显微物镜50倍镜的效果(视场大小0.18mm),视场大小提高了24倍,视场面积提高了576倍,在保证微小缺陷检出分辨率的情况下大幅增大视场,提高检测效率。

1 系统在不同放大倍率物镜下的成像参数

参数.png

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 2人次技术培训

免费仪器保养: 1年1次

保内维修承诺: 免费远程调试

报修承诺: 长春本地24h上门维修

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