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KASHIYAMA大排量真空泵SDL20E60特点
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力,可实现高速泵送,最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
型号 | SDL20E60 |
最大排气速度 [L/min] *1 | 40,000 |
极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 |
电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200~220V,?380~480V |
尺寸 [mm] L×W×H | 1370×850×1295 |
重量 [kg] | 800 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 无
免费仪器保养: 一年一次
保内维修承诺: 更换零部件
报修承诺: 7X24小时
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