美国赛默飞聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)_Scios 2

Thermo Scientific Scios 2 DualBeam

美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual

通用型高性能双束系统

Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。

Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料）提供出色的样品制备和三维表征性能。Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性，是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。

高质量 TEM 制样科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果，需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。 Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual_富瑞博国际

高质量内部和三维信息内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质，Sci os 2 DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice&View™4（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息，而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual_富瑞博国际

主要优势

使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品

Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像，满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态内部和三维信息高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工

灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求

超高分辨成像并获取最全面的样品信息

创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保

快速、轻松地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。

帮助所有用户提高生产力

Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual_富瑞博国际

真实环境条件的样品原位实验

Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台Heater，可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品台可倾斜至90°，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。

W-Mo-Cu样品的三维重建，结合了BSE（绿色-蓝色）和EDS（橘色）三维

数据，使用Scios 2 DualBeam系统、AS&V4以及Avizo软件生成。

电子光学

NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有:

• 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率分析电流

• 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品

• 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔

• 连续电子束电流控制和优化的光阑角度

• 电子枪安装和维护简单 – 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴

• 两级扫描偏转

• 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜

• 快速电子束闸*

• 用户向导和镜筒预设

• 电子源寿命至少24个月

电子束分辨率

• 最佳工作距离下

• 30keV下 STEM 0.7nm

• 1keV下 1.4nm

• 1keV下 电子束减速模式 1.2nm*

电子束参数

• 电子束流范围：1pA – 400nA

• 着陆能量范围： 20* eV - 30 keV

• 加速电压范围：200 V - 30 kV

• 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作距离下

为7.0mm，美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual_富瑞博国际

• 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度

离子光学

• 卓越的大束流Sidewinder离子镜筒

• 加速电压范围：500 V - 30 kV

• 离子束流范围：1.5pA – 65nA

• 15 孔光阑

• 标配不导电样品漂移抑制模式

• 离子源寿命至少1,000小时

• 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边法）

探测器

• Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内）

? T1 分割式透镜内低位探测器

? T2 透镜内高位探测器

? T3可伸缩镜筒内探测器*

? 可同步检测多达四种信号

• ETD – Everhart-Thornley 二次电子探测器

• ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二

次离子*

• DBS – 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器*

• STEM 3+ – 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) *

• 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察

• Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航*

• 电子束流测量*

样品台和样品

• 灵活五轴电动样品台：

• XY范围：110mm

• Z范围：65mm

• 旋转：360 °（连续）

• 倾斜范围：-15°到 +90°

• XY重复精度：3m

• 最大样品高度：与优中心点间隔85mm

• 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托）

• 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样品超出

此限值，则样品台行程和旋转会受限）

• 同心旋转和倾斜

真空系统

• 完全无油的真空系统

• 样品仓真空（高真空）：< 6.3 x 10 -6 mbar（72小时抽气后）

• 抽气时间：< 3.5 分钟

• 可选低真空模式：样品仓真空可达500Pa

样品仓

• 电子束和离子束重合点在分析工作距离处（SEM 7mm）

• 端口：21个

• 内宽：379mm

样品托

• 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个

标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、2个垂直和2个预倾斜

侧排托架*（38°和90°），样品安装无需工具

• 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网

• 各种晶片和定制化样品托可按要求提供*

系统控制

• 64位GUI（Windows 7）、键盘、光学鼠标

• 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号，真彩信号

混合，美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual_富瑞博国际

• 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言

包

• 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配）

• Joystick 操纵杆*

• 多功能控制板*

• 远程控制和成像*

图像处理器

• 驻留时间范围：25纳秒 – 25 毫秒/像素

• 最高 6144 × 4096 像素

• 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配

• SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描)

• DCFI (漂移补偿帧积分)

支持软件

• “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图

• Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、 iSPI™ （间歇

式SEM成像和FIB加工）、iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模

式，用于高级、实时SEM和FIB过程监测和端点测量

• 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、多边形、位

图、流文件、排除区、阵列

• 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积

• 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠

• 图像配准支持导入图像进行样品导航

• 光学图像上的样品导航，美国赛默飞_聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)_Scios 2 Dual_富瑞博国际

• 撤销（Undo）/重做（Redo）功能

• DualBeam系统基本操作及应用用户指南