工业级精度定位
半导体技术
半导体测试
晶圆检测
平版印刷术
纳米压印
纳米测量
强磁场和真空中运动
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
小型大行程纳米促动器
数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。
PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 5人内培训
免费仪器保养: 一年内
保内维修承诺: 包修
报修承诺: 4小时响应，24小时可达现场
