徕卡显微镜微电子和半导体检查半导体显微镜DM3XL

快速检测，快速行动

微电子和半导体检查系统 DM3 XL

检测速度在微电子和半导体行业的检查、过程控制或缺陷和故障分析中至关重要。您发现缺陷的速度越快，您可以做出更快的反应。

大视野——视野增加30％

DM3 XL检测系统视野开阔，可让您的团队更快地发现缺陷并提高合格率。利用独特的宏观物镜增加的30％视野。

视野更大，效率更高

看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描6英寸以下的大型组件，DM3 XL提供了独特的微距物镜。

放大倍数为0.7倍，它可以立即捕获35.7毫米的视场-比其他常规扫描物镜大30％。

有了宏观目标，缺陷就没有机会了：

提高产量

可靠地检测到晶圆边缘或中心的显影不足

检测不均匀的径向膜厚度

LED适用于所有对比方法

DM3 XL将LED照明用于所有对比方法。LED照明提供恒定的色温，并提供所有强度级别的真实彩色成像。 

在所有强度级别上逼真的彩色成像

免调整

无需更换灯泡-无需停机

可重复的结果

由于使用寿命长且功耗低，LED还具有巨大的成本节省潜力。

光学高性能

使用DM3 XL，您可以以可承受的价格享受卓越的光学效果。

用倾斜照明检查侧面，边缘或碎片：从不同角度照亮样品，这是可视化地形图的简便有效方法。

通过深入的暗场对比度检测样品下层中的微小划痕或小颗粒。

灵敏度和分辨率的急剧提高会让您震惊。

各种样品–可变台插入

无论您要检查哪种样品大小和样品类型，都可以从各种载物台中进行选择：

载物台尺寸：150毫米x 150毫米

舞台插件：金属插件，晶圆支架或掩模支架

快速粗台或精台定位

舒适直观地工作

彩色编码膜片助手（CCDA）简化了分辨率，对比度和景深的基本设置，有助于加快工作速度并减少操作错误。

简单直观的功能使您的团队可以更快地提供可靠的结果。

借助易于触及的控件，可在切换对比度或照明时将手放在显微镜上，将眼睛放在样品上

用右手轻松操作光强度控制器

使用可变的ErgoTubes和聚焦旋钮将显微镜调整到不同的身高