仪器种类： 在线式
产地类别： 进口
响应时间： 10s
气体种类： 六氟化硫
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概述
随着能量效率的提高，以及排气通风设施的物理限制变得更加明显，半导体设备的排气通风的优化变得越来越重要。设备的排气通风设计不合理，可能会造成操作人员的伤亡，引起设备乃至整个工厂的烧毁。
半导体行业需要测量机台通风效率，满足SEMI S6 Ventilation行业标准。
SEMI S6 Ventilation是使用示踪气体测定逸散性排放的试验方法，考量含 HPM或易燃易爆气体的半导体装备通风效率。
SF6作为示踪气体模拟泄漏气体，因此，对SF6检测仪的检测精度要求极高。
特性
光声光谱法原理，悬臂梁专利探测技术
可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC
检测限低，测量精度高(ppb)
测量响应快
多点采样器，可扩展12-64个采样点
无需预处理、无耗材、无载气
可定制释放装置和管路
应用
半导体制造设备通风性能检测（国际半导体协会SEMI S6标准）
SF6泄露检测
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员上门培训
免费仪器保养: 半年1次
保内维修承诺: 免费维修，更换零件（不是人为损坏）
报修承诺: 24小时内技术电话回复，3天内上门维修
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