微型线性位移台，25mm行程，步进电机
型号： MFA-PPD
技术参数
行程范围
25 mm
最 da速度
1 mm/s
最小位移增量
100 nm
中心负载
50 N
轴向负载 (+Cx)
10 N
逆轴向负载 (-Cx)
-10 N
精度，典型值
±0.9 μm
精度，保证值
±3.0 μm
单向重复精度，典型值
±0.12 μm
单向重复精度，保证值
±0.25 μm
双向重复精度，典型值
±0.2 μm
双向重复精度，保证值
±0.75 μm
俯仰，典型值
±25 μrad
俯仰，保证值
±100 μrad
俯仰顺应性
80 μrad/Nm
偏摆，典型值
±30 μrad
偏摆，保证值
±50 μrad
偏摆顺应性
80 μrad/Nm
滚转顺应性
60 μrad/Nm
材料
Steel
轴承
Double-Row Ball Bearings
驱动方式
Stepper Motor
反馈
None
原点重复精度
±2.5 μm
电缆长度
3 m
端口类型
DB25 Male
真空兼容性
No
螺纹类型
M2 and M3
重量
0.62 kg
MTBF
10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
RoHS
Compliant
最 da耗电量
10 W
兼容XPS-RL 驱动模块
兼容XPS-D驱动模块
ESP301兼容性
Yes
SMC100兼容性
行程要求
Less Than 50 mm
MIM Requirement
100 to 500 nm
Speed Requirement
Less than 50 mm/s
Load Capacity Requirement
Less than 100 N
双排线性滚珠轴承滑轨
Newport专有的双列直线球轴承设计具有直接加工到平台结构框架中的轴承方式，可实现非常顺畅的行程，更长的耐用性和更长的使用寿命。 与使用商用轴承的其他解决方案相比，MFA线性位移台具有更高的负载能力和刚度，并且俯仰和偏航误差也较小。
带有高分辨率反馈的高速直流电机
直流电动机的最da特点是速度快，运动平稳，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流电动机具有一个集成的齿轮箱和一个电动机安装的旋转编码器。这个2,048 cts / rev 高分辨率的旋转编码器提供位置反馈。 结合低摩擦机械设计，MFA-CC可提供100纳米灵敏度的超平滑运动。 更快的运动，更高的可靠性和更低的游隙使直流电动机驱动的位移台非常适合要求小增量运动，高动态速度和良好重复性的应用。
经济型微米步进电机
对于要求不高的应用，步进电机可能是比直流电机更经济的解决方案。 步进电动机使用磁吸和排斥的基本原理进行操作，将数字脉冲转换为机械轴的旋转。 为了提高运动的分辨率和平滑度，MFA-PPD具有微米步进功能，这是一种将运动的完整步长以电子方式划分为大量局部步长的方法。
顶板和底板
有关更多用途和安装选项，顶板和底板 可以单独订购实现垂直（Z轴）安装和光学平台安装。 对于垂直安装，请注意，垂直（Z轴）平台应连接到 MFA- BK 。首先（通过MFA-BK的两个沉孔M3孔），然后可以通过MFA-BK的四个沉孔M2孔将组合安装到水平（X轴或Y轴）平台上。
真空兼容版本
MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本，最di可兼容 10-6 hPa。
CONEX Controller Version
Newport also offers a version of the DC motor linear stage with integrated CONEX controller, the CONEX-MFACC . For out-of-the box control, the CONEX controller is preconfigured and delivered with the MFA-CC stage.
