EVG 纳米压印光刻

纳米压印光刻（NIL）

EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场领先供应商。 EVG从15年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。 NIL是产生纳米尺度分辨率图案的最有前途且最具成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及最近各种衍射光学元件的各种商业应用。

UV-NIL /SmartNIL®系统

EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。

EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。除了柔软的UV-NIL，EVG还提供其专有的SmartNIL技术以及多种用途的聚合物印模技术。高效，强大的SmartNIL工艺可提供高图案保真度，高度均匀的图案层和最少的残留层，并具有易于调整的晶圆尺寸和产量。

EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期承诺，即纳米压印是一种用于大规模生产微米和纳米级结构的高性能，低成本和具有批量生产能力的技术。

选择您的UV-NIL /SmartNIL®系统

EVG®610    UV-纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统，从小件到最大150毫米

EVG®620NT    SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统，采用EVG专有的SmartNIL®技术，最大可达100 mm

EVG®6200NT    SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统，采用EVG专有的SmartNIL®技术（最大150毫米）。

EVG®720    自动化的SmartNIL®UV纳米压印系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案最大可达150毫米。

EVG®7200    自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案最大200毫米

EVG®7200LA    自动化的大面积SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

大面积无与伦比的共形纳米压印光刻技术。

HERCULES®NIL    完全集成的SmartNIL®UV-NIL系统

完全集成的纳米压印光刻解决方案，用于大规模生产，具有EVG专有的SmartNIL®压印技术。

EVG®770    分步重复纳米压印光刻系统

分步重复纳米压印光刻技术，可实现高效的母版制作。

IQAligner®    自动化紫外线纳米压印光刻系统

高精度UV压印系统，用于晶圆级透镜成型和堆叠。

热压花系统

EVGroup的一系列高精度热压花系统基于该公司市场领先的晶圆键合技术。热压印是一种具有很高复制精度的经济高效且灵活的制造技术。

EV Group的一系列高精度热压花系统基于该公司市场领先的晶圆键合技术。 出色的压力和温度控制以及大面积的均匀性可实现高精度的压印。 热压印是一种经济高效且灵活的制造技术，对于尺寸低至50 nm的特征，其复制精度非常高。 该系统非常适合将复杂的微结构和纳米结构以及高纵横比的特征压印到各种聚合物基材或旋涂聚合物中。 压模与基板对齐的组合可将热压纹与预处理的基板结构对齐。

EVG®510HE   热压花系统

高度灵活的热压花系统，用于研发和小批量生产。

EVG®520HE  热压花系统

经过通用生产验证的热压花系统可以满足最高要求。