霍尔效应测试仪 ITO 薄膜测试

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霍尔效应测试仪 ITO 薄膜测试案例
上海伯东某科研客户霍尔效应测试案例一
样品: ITO 氧化铟锡, 标记为 ITO1, ITO2, ITO3
样品薄膜厚度: 60 - 100 nm
样品尺寸: 10 * 10 mm
实验内容: 载流子浓度, 类型, 霍尔迁移率, 方块电阻
实验仪器: 上海伯东英国 NanoMagnetics ezHEMS 霍尔效应测试仪

测试温度和磁场温度: 300K RT 1 Tesla
* 在测试开始前, 仪器均经过标准样品校验. 所有样品根据 ASTM 标准.

样品 ITO1 测试结果:
I-V 测量结果

VdP 测量结果
测量头类型: RT Head;   磁场: 9677G;   厚度: 80nm

部分测试结论:
1. 得到的电阻值彼此相容.
2. 所有的IV 曲线都是线性的
3. 所有样本都是欧姆的,统一的,均匀的.
4. Van der Pauw 测试为了保证准确性, 测试了2次, 测试结果是相同的.

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