型 号 | TomoScope HA | TomoCheck | TomoScope HV Compact | TomoScope HV 500 |
分辨率 | 0.1μm | 0.1/0.01μm | 0.1μm | 0.1μm |
定位速度 | 150mm/s | 60mm/s | 150mm/s | 150mm/s |
加速度 | 300mm/s2 | 250 mm/s2 | 350 mm/s2 | 350 mm/s2 |
工作台承重 | 2kg | 10kg | 40kg | 40kg |
仪器自重 | 3000kg | 6000kg | 11000kg | 13000kg |
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