概要
30A气体质量流量控制器采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制，由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
本型号产品满量程可以再5sccm-30SLM的范围内任意定制。
特点
稳定性和可靠性高 ±0.2%F.S的高重复精度 可应用大多数腐蚀性气体
同类产品尺寸最小 安装尺寸国际兼容 不受温度及压力变化影响
满量程可在5sccm-30SLM范围任意定制
标定标准
标定气体：氮气（N2）
标定温度：温度273.15K（0 oC） 标定压力：101325pa(760mm Hg)
输入输出信号
0~5.00V（输入阻抗大于100KΩ）输出电流不大于3mA
流量规格
0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm
0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM
注：满量程流量不限于此处列出的规格，可再满量程5sccm-30SLM范围内任意选择,列如:123sccm
质保与服务
我公司承诺对产品的质保期为壹年，再您收到产品壹年内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有损坏，改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换产品部件。
再质保期外，我们提供终生维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费，维修和维护后，维修部分的部件同样质保壹年。
我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并提供产品的使用培训。
规格参数
功能 | 质量流量计，质量流量控制器 |
流量规格（N2）标定 | 0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm |
流量规格（N2）标定 | 0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM |
精度 | ±1%F.S |
调节阀类型 | 常闭式 |
线性 | ±1%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | ≤2ses |
输入输出信号 | 0~5.00V（输入阻抗大于100KΩ）输出电流不大于3mA |
电缆接头 | DB15pin(针型) |
工作环境温度 | 5~45℃ |
工作压差范围 | 0.1-0.5Mpa |
对外单点泄漏率 | ≤1X10-8pa.m3/s(He) |
耐压 | 3Mpa |
介质接触材质 | 316,316L,密封填料 |
介质接触材质 | 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封 |
密封材料 | 丁晴橡胶NBR,三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ,氟橡胶FKM |
管道接头尺寸 | VCR型接头 1/4 |
管道接头尺寸(公制) | Φ3 Φ6 Φ8 Φ10 Φ12 |
管道接头尺寸(英制) | 1/8 ,1/4 ,1/2 |
供电电源要求 | +15VDC(50mA) -15VDC(200mA) |
工作环境湿度 | ＜80RH |
重量 | 0.9KG |
尺寸 | 127X28X100mm |
