CETAC 飞秒激光剥蚀系统 Excite Pharos

仪器简介

美国CETAC的激光剥蚀/激光烧蚀产品线源于全球行业翘楚之一的Photon Machines团队（缩写PMI），其第一代产品于1995年问世，该品牌具有丰富的激光剥蚀产品设计、研发、制造及应用经验，产品线涉及213nm固态激光、193nm准分子激光、飞秒激光系统（与ICP-MS联用），及CO₂和二极管激光熔融系统（与惰性气体同位素质谱联用），此外多种高性能配件与更加直观的分析软件能够增强并完善系统的功能，足以为全球元素分析用户提供先进的激光剥蚀技术。

Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统是市面上很具操作性的飞秒系统，采用结构紧凑、全密闭的工业级激光源，无需二次校准和清洁维护。系统提供多种波长可选，如1028nm、257nm、206nm，或配置多波长切换控制，相对应的能量密度为10J/cm²(1028nm)、5J/cm²(257nm)、3J/cm²(206nm)，在长期稳定运行情况下剥蚀稳定性RSD能达到0.1%。同时系统配备HelEx II双体积双气路涡流样品池，提供快速冲洗效率和持续的剥蚀环境。
注：使用飞秒激光剥蚀系统用于化学分析受美国专利保护（专利号5656186及RE37585，由美国密歇根大学持有），隶属于CETAC品牌的Teledyne Photon Machines持有密歇根大学提供的全球许可，用于提供飞秒激光剥蚀系统。

应用范围

样品种类

半导体材料；透明和半透明类样品；石英；骨头/化石；金属基材料等。

主要性能参数

■ 激光源为Light Conversion-Pharos 2mJ或Pharos SP 1.5 mJ

■ 激光波长1028nm、257nm、206nm可选

■ 脉冲宽度<190fs-10ps

■ 脉冲能量可达2mJ

■ 可调脉冲频率1-200kHz（步进1Hz）

■ 波长转换选项广（谐波发生器、OPA、NOPA、连续发生器）

■ 只经历一次光学折射以减少脉冲展宽

■ 每个波长都有独立的光路

■ 独立的视频和激光光学控制单元，能够更好的查看样品剥蚀点

■ 连续可调光斑大小1-65μm

■ 兼容HelEx II双体积双气路涡流样品池

■ 集成的冷却系统减少实验室空间