GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

    1、配有2L/s双旋片机械泵，出气口装有立式油雾过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵的损耗，保护环 境和人体健康。

    2、已经过CE认证。

技术参数

    1、输入电源：208V-240V  50Hz/60Hz   <3000W

    2、石英腔体：?100mm×130mm  

    3、样品台：?60mm，高度可调节，可加热到600℃

    4、温控器：30段可编程温度控制器，控温精度±1℃

    5、升温速率：15℃/min（推荐）

    6、靶材：纯度为4N的金靶，?57mm×0.12mm

    7、进气口：装有不锈钢针阀，可通入氩气，能实现更好的等离子涂层

产品规格

　尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

标准配件

   1、金靶

   2、真空泵

   3、不锈钢波纹管

   4、快速卸装卡箍

可选配件

   Au、Pt、Ag靶