仪器应用
l 空分工艺；
l 氩气纯化工厂；
l 氦液化工厂；
l 特气实验室；
l 半导体生产制造业
仪器特点：
l 纯氩或纯氦中的微量氮分析
l 稳定，灵敏的等离子检测器
l 固态质量流量传感控制器
l 三个量程可自由选择
l 低维护，持续测量准确可靠
仪器特点：
l 被测组分：N2；
l 测量原理：等离子法（PED）；
l 测量范围：0-1ppm/10ppm/100ppm；
l 重复性：<1%量程；
l 精度：<1%量程；
l 漂移：<1%量程/24小时；
l 数字输出：1路系统状态，3路量程，1路校准；
l 输出：4-20mA独立输出；
l 显示：TFT智能触摸液晶显示屏；
l 样气压力：10-25 PSIG；
l 串行通讯：RS232，RS485，Profibus
