纳米级高速大行程压电马达平移台
AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。
该平移台采用无声的超声波马达，超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子，在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动，促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动，每个循环的进给为几个纳米，高频的信号，可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到400mm/s。
理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度，因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm，采用线性编码器位置传感器闭环控制，使位移平台的位移分辨率可达到78nm，在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力，因此断电之后平移台会有自锁功能，使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量，提高了位移平台的精度。
此外，由于该平台采用模块化设计，因此该平移台可以组成多维位移平台，并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用：
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
产品参数：
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical) |
