AVI主动减震产品

产品介绍

AVI系列产品是一款模块化，薄型化的主动隔振平台，可在六个自由度范围内实现亚赫兹振动隔离。安装过程简便，可节省实验场所和安装成本。产品分三个型号：AVI-200、AVI-400和AVI-600：

AVI-200有三种标准尺寸可供选择：AVI-200S，AVI-200M和AVI-200XL；

AVI-400有三种标准尺寸可供选择：AVI-400S，AVI-400M和AVI-400XL；

AVI-600有三种标准尺寸可供选择：AVI-600S，AVI-600M和AVI-600XL。

技术参数

AVI系列主动减震产品：

（1）主动隔振范围：0.5 Hz-200 Hz；

（2）2.5 Hz时95%隔振；

（3）5 Hz时99%隔振；

（4）10 Hz时99.5%隔振；

（5）隔振效果在20 Hz时99.8%。

主要特点

（1）隔离所有振动：隔离所有六种旋转和平移振动模式下的振动；

（2）业界领先的低频隔离：主动隔离1至200 Hz（LFS系统为0.5 - 200 Hz）；超过200 Hz的无源隔离；

（3）主动式>被动式：没有低频共振意味着0-5 Hz之间的性能比无源系统好得多；

（4）最大刚度和稳定性：比被动系统硬500倍，可提供出色的方向和位置稳定性；

（5）可扩展至任何仪器尺寸：模块式样允许系统适应特定的尺寸和负载，使其成为各种应用的理想选择；

（6）无缝安装和使用：小巧的设计使得AVI系列无需升降设备即可安装。

应用领域

使用AVI-200平台的常见应用包括：

（1）原子力显微镜；

（2）干涉仪；

（3）轮廓仪；

（4）摩擦学；

（5）高精度计量领域。

使用AVI-400/600平台的常见应用包括：

（1）SEM和TEM；

（2）超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）；

（3）光刻工具；

（4）高精度测量工具；

（5）光谱仪器。