接触式测量设备校准标准片
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核心参数

当原子力显微镜做样品成像时,很难知道表面是否准确的表征?也许会受针尖的顶端破碎或钝影响。
破损或钝的探针针尖会使测量结果有显著差异,如粗糙度或表面结构等等。
要确保用户在使用探针时要有适当的提示,必须直接扔掉旧探针或定期使用SEM电镜检测,这两种方法都非常的浪费探针或耗时。

一个SPM样品可以在原子力显微镜的针尖条件下快速、简便的测定。即使在一个单一的扫描线上,也使之间的差异变得明显。因此,tipcheck提供了一个快速简便的方法来比较和分类原子力显微镜探针不同的针尖、形状和清晰度。
您可以很容易的检查您的AFM探针是否完好,是否已经磨损或破损,从而不需要扫描使用该探针扫描整个样品图像或做SEM电镜扫描检测。此外,该样品的完美自动提示和针尖表征软件在市场上均可用。

Tipcheck样品是一种非常耐磨的薄膜涂层,沉积在硅芯片上。这层薄膜涂层呈颗粒状,尖锐的纳米机构使得它能在AFM探针针尖反向成像。该Tipcheck模具的尺寸为5*5mm。
左图显示了使用不同探针测试tipcheck样本之间的比较,扫描尺寸为1*1um,高度为100nm。根据下面的形貌图你可以找到一个具有代表性的断面图像。

 

校准区域位于芯片的中心,使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。校准结构的台阶高度为20nm(HS-20MG)100nm(HS-100MG)和500nm(HS-500MG)每一个芯片的精确值都标识在盒子标签上。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。在1*1mm的大区域内包含了间距为10um的方柱孔。

 

CS-20NG是一种先进的XYZ标定校准,使校准精度降低到纳米级。它的特点是在一个5*5mm的硅芯片上阵列二氧化硅结构。确保整个芯片结构有良好的均匀性。反之,又确保了方便可靠的校准原子力显微镜的XYZ三方向的精度。
校准区域位于芯片的中心,使用原子力显微镜的光学系统很容易找到。
台阶高度在20nm范围内,每一个芯片的精确值都标识在盒子标签上。
芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。在1*1mm的大区域内包含了间距为10um的方柱孔。在中区域内包含了XY方向间距为5um的圆柱形孔。在小区域内500nm间距的圆形孔。


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