NextScan飞秒激光多面扫描镜

NextScan Technology多面镜扫描头(Polygon Scanners)，可实现大范围、超高速、高精度与高重复性的激光光束扫描。相比传统扫描振镜，多面扫描镜具有更快的扫描速度(扫描速度比振镜快100倍)，且具有更高的损伤阈值。

NextScan Technology多面镜扫描头(Polygon Scanners)在半导体行业的应用

用于逐行处理的高速扫描转镜

对于各种材料的超精密微加工，超短脉冲（USP）激光是最佳的选择，因为它适合以冷烧蚀方式，特别精细和有针对性的去除材料。为了实现工业级生产率，超短脉冲激光器必须与超快扫描头（如多边形扫描转镜系统）结合使用。

多边形扫描转镜特别有利于以线性、全表面式的处理工件和表面。这种系统能通过高速扫描，大大的减少材料处理的时间。超短脉冲激光加工的应用范围很广：从触摸屏表面图形化或太阳能电池划线，到电子元器件、玻璃、塑料的微钻孔和处理，甚至传感器制造。

Next Scan Technology提供各种多边形扫描转镜系统，也可根据用户需求定制，以实现最佳效率。

高通量光栅处理

Next Scan Technology的多边形扫描转镜系统都经过优化，以实现最高速度扫描的稳定性和准确性。我们的扫描系统采用旋转多面镜的理念来进行快速线扫描，借助于外部的轴或滚筒的沿多边形轮扫描方向的转动，实现长面积加工处理。

我们的扫描多边形轮转镜一般用于常规栅格式的全表面处理。通过一个能够输出用户定义位图的功能，脉冲激光可以以像素方式精准的被控制，从而能够产生不同的加工图案。

通过高精准度的执行器和先进的控制功能（如SuperSync和TrueRaster），便可以达到扫描方式的灵活性和最高准确性。

全远心光学镜头

Next Scan Technology的线扫描引擎（Line Scan Engine，LSE），是集成的由全远心镜组成的紧凑型一体化扫描头，可以以最高性能进行大面积图形处理。在使用高功率传统激光器和拼接扫描头时，基于镜像的概念可以通过交错或串联配置和互补控制来定制特定应用的程序。

多边形和失真校正

当需要时，两个高精度执行器会补偿多面镜的错误以及图像面积失真。这项被称为TrueRaster的技术除了能够提供校正过的精度，同时也在高通量的条件下确保高精准度、高质量的光栅处理。

同步功能

一般与该系统一起使用的超短脉冲激光器都会配备内部频率来调节激光发射的时间点。SuperSync提供专有的同步功能来触发激光器，以保证光斑的重复性——这对于高质量的微加工至关重要。

智能控制

专有的SuperSync和TrueRaster能够满足重复性和准确性的要求之外，智能扫描策略（如交错和徘徊扫描）同时提高了处理质量。这些特征对于要求单脉冲之间的空间分离、高直线度或相同的重复处理尤为重要。

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