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先进的 2D合成 材料集成系统CVD
该 设 备 的 二 维材料合成尺度从芯片到晶体,包括石墨烯,h-BN的合成,TMDCs不同衬底上采用气相或固相前驱体和有机金属(钼)。
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快速加热和冷却的可移动电机控制的加热器(专利)
TCVD100平台:超过5年,全球100套系统的卓越性能表现
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