白光共焦光学轮廓仪

仪器简介：
德国Nanofocus是一家全球领先的高科技公司，是微纳米尺度上的光学表面测量技术的全球领导者，生产的光学轮廓仪是科学研究和工业领域广泛应用的先进设备，为大众、宝马、西门子、飞利浦、BOSCH等世界知名企业提供精密的解决方案。
德国Nanofocus公司的表面光学轮廓仪在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的专利技术，由于这些专门技术的应用，Nanofocus为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的全方位解决方案。
Nanofocus的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量，其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计，其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快，而且精度高，并提供了多种不同的表面分析方法。

NanoFocus有两种光学测量系统：μSurf(白光共轭焦轮廓仪)和μScan(激光轮廓测量仪)
主要系统特点：
A. 高精度测量，结果可作为计量标准
B. 高再现性和可靠性
C. 实际应用方便
D. 综合能力强

如果您目前还不能确定需要什么性能的配置，或者还不清楚未来所需，Nanofocus可以向您提供了全方位的选择及升级版本，满足您测量的需要，节约您的经费，促进您的生产和科研，并确保您的投资长期受益。
德国Nanofocus在全球各个国家的分公司,在各地商务会议中心,我们经常提供相应的技术讲座/培训以及研讨会。在亚太,我们同样不定期的举办各种形式的技术培训及研讨会,欢迎您在任何方便的时候加入。另外，德国Nanofocus公司协助客户进行海外实习和相关学位的培养。
请与Nanofocus中国总代理上海爱建纳米科技发展有限公司联系，爱建纳米可以为您做免费的样品分析，并可以根据你的需求，定制解决方案！

技术参数：

扫描模块：

XY轴模块 MS 50: 扫描范围：50×50mm，分辨率：0.1μm；

Z轴模块 ZM 100：扫描范围：100mm，分辨率：0.1μm；

Z轴模块 NV 350：压电扫描，扫描范围：350μm，分辨率<1nm。



光学模块1)        1600S      800L/S/XS      320L/S/XS      160L/S

XY测量范围(um)2   1600×1600 800×800       320×320       160×160

数值孔径           0.3    0.4/0.46/0.6    0.5/0.8/0.95	     0.8/0.95

Z方向测量范围(mm)	10.1	12/3.1/0.9     10.6/0.66/0.3  3.4/0.31

Z方向范围分辨率(nm)CX 50      35/30          25/15

                   CI 20      6/5/4          4/2/2         2/1

XY分辨率           2.9        1.5	        0.6            0.31



注：1) L：长工作距离，S：普通工作距离，XS：短工作距离； 

2) noise level (only with NV350)

主要特点：
产品类型：白光、共焦、非接触
μSurf结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物鏡垂直移动，以类似断层摄影方式，精确量测物体高度。
由于使用了共轭焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他同类公司产品使用较多的干涉法相比，可以精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。

应用:
μSurf用来测量表面物理形貌，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本。
精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸；
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等；
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等；
半导体: 检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计。