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ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ（紫外光）
基于相位的专利技术, 在190纳米到400纳米波段，SID4 UV-HR波前分析仪（在紫外光谱范围内）具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……)
主要特点
．超高分辨率 ２５０×２５０
．高灵敏度 ０．５ｎｍ RMS
．大型分析孔 ８．０×８．０ｍｍ
.可以直接对光学器件表面进行测量
推荐用途
．紫外激光器：光束的测量和校正
．光学：紫外线光学（半导体）测试和表面测量。
ＳＩＤ４ ＵＶ－ＨＲ的详细规格
ＳＩＤ４ UV-HR | 单位 | 数据 |
波长范围 | nm | 190-400 |
框口尺寸 | mm^2 | 8.0*8.0 |
空间解析度 | Um | 32 |
相位和强度抽样 | 250*250 | |
分辨率 | nmRMS | 0.5 |
精密度 | nmRMS | 10 |
采集率 | fps | >30 |
实时处理频率 | fps | 1 |
尺寸(w*h*l) | mm | 95*105*84 |
重量 | g | 900 |
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