SEM电镜动态原位纳米压痕仪InSEM

美国SEM动态原位纳米压痕仪InSEM

InSEM纳米力学测试 – 专用于原位扫描电镜系统

   本设备主要用于金属及非金属材料和薄膜的常温环境下电镜SEM中或FIB静态动态原位纳米压痕力学性能测试和物性参量测量试验。

InSEM是表征表面或结构纳米力学性能的仪器，在SEM或FIB原位真空环境下呈现亚纳米分辨率，它是一个用于研究物体表面或结构的机械特性的工具，SEM/FIB真空环境被称为未来的实验室。

该装置与扫描电镜（SEM）集成一个系统，并可执行亚纳米级的位移测量，和采用nanoNewton应用方法的施力压缩，紧缩，弯曲，挤压，或压痕标本。原位方式将探针针尖和样品加热到超过400 ℃的温度，扫描电镜(SEM)和InSEM可原位传输画像数据，并可将现象进行量化。

主要特点：

1.模块设计灵活性高

InSEM为模块化设计，具有高适应性，能够适用于各种应用。InSEM能安装于各种SEM腔体上的接口或直接安装在SEM台上。

2.特有的连续硬度动态测量功能

连续硬度测量功能可以直接采集压入过程中的每个载荷和位移数据对应压入深度的接触刚度、进而计算出硬度与弹性模量等力学性能作为压入深度的连续函数。

3.数据采集快捷方便

高速数据采集系统，通过鼠标就可以实时切换测量参量（载荷、位移、硬度、弹性模量和接触硬度等）；可将所有测试数据输出为Excel格式，同时显示二维或三维图像。

主要参数：

压头总的位移范围     70um                            

位移分辨率          0.0002nm

位移的噪音水平      0.1nm

加载模式            电磁力加载

位移测量            电容位移传感器

常规载荷            30mN                    

载荷分辨率             3nN

InSEM荣获美国 2013 R&D 100 研发大奖

Nanomechanics, Inc.公司自豪地宣布，公司的纳米力学探针（InSEM HT ）技术被美国R＆D杂志评选为R＆ D 100大奖得主。

广泛地认为可以取得R&D“创新奥斯卡奖＂的产品，是年度顶尖的技术产品。过去的获奖产品包括精密的检测设备，新材料，新化学的突破，生物医药的产品，以及高能物理学。

 R＆ D 100奖跨越产业界，学术界和政府资助的研究。

“Nanomechanics, Inc. 公司此项创新研究为广大客户在材料性能测试需求领域中，提供了高性能、定量的解决方案。” John Swindeman说：“InSEM HT研究技术远超过市场上其他产品，有很大的优势和先进科技。”Dr. Warren表示 “很高兴看到创新和辛勤工作获得肯定并且我们这样一家公司要完成这种类型的创新，是需要特殊的客户愿意冒险订购此尖端技术的测量系统。” Oliver 称赞公司客户有眼光看到公司的发展并给予财物上的支持。

Nanomechanics公司介绍

Nanomechanics, Inc. 公司成立于2009年，由世界顶尖纳米力学Dr. Warren Oliver团队所组成的，提供仪器仪表、实验室服务和咨询，并提供广泛的学术研究和产业给客户。Nanomechanics的工作人员在1980年开创了纳米压痕研究， 团队发明了世界第一台纳米压痕仪。

 Dr. Warren Oliver团队

    团队拥有30年的设计，制造和使用纳米力学测试的经验，30年来一直是最前沿的纳米力学测试先锋。应用纳米力学的产品和服务，可对包括材料科学、半导体、生物材料、聚合物、微机电系统、纳米材料制备、纳米材料、薄膜、涂料等各种领域进行研究，并创造商业利益。对于扫描电镜下原位动态测试，Nanomechanics是世界上目前唯一的提供商。

应用领域：

  应用领域涵盖了各种表面保护和涂层、多相材料和复合材料、生物材料、MEMS/NEMS器件、半导体领域、高分子、陶瓷、玻璃等。主要用于金属及非金属材料和薄膜的真空环境下静态动态原位纳米压痕力学性能测试和物性参量测量试验。