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特点: ◆作为半导体FAB用，可在Class 1洁净的室内环境中使用 ◆所有材料均用不锈钢制作，可防腐蚀或退色问题。 ◆安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具。 ◆为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板。 ◆打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位。 |
技术指标 ◆固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz ◆隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98% ◆水平复位精度 : ±0.1㎜ ◆静负载 : 500kg ◆自重 : 150 ~ 250kg ◆材料 : 支架及顶部：不锈钢 顶盖：不锈钢 ◆工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮 ◆阻尼形式:孔式空气阻尼 用途 探针台、显微镜、Mask、aligner、A.F.M、S.T.M、 薄膜厚度形状测定仪、其它半导体相关检验装备。 |
固有频率（Natural frequency）： 平台振动的周期或频率与初始（或外界）条件无关，而只与系统的固有特性有关，称为光学平台的固有频率或者固有周期。通常来说，固有频率越低，系统的隔振性能就越强。
光学平台广泛应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域，以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中，其动态力学特性的好坏直接影响试验结果的准确性和可靠性。仪器设备的微振动直接影响精密仪器设备的测量精度。随着精密隔振要求的提升，需要不断提高光学平台的振动隔离技术。
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