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OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20oC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1oC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出.
技术参数
真空腔体 |
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真空法兰 |
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混气系统 | |
加热元件和载样台 |
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两个K型热电偶分别安装在上下法兰上 |
温控系统 |
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工作温度 |
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加热和冷却速率 |
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电源 | 208 - 240VAC, 单相, (需20A的空气开关) |
可选配件 | 本公司出售真空泵和水冷系统 |
质保期 | 一年质保期 终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 ) |
质量认证 | CE |
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