装卡直径 | 130mm |
XYZ调整范围 | 50mm |
方位调整范围 | 360° |
俯仰调整范围 | ±15° |
XYZ调整分辨率(8细分) | 0.00125mm |
XYZ调整精度 | ≤5μm |
方位俯仰分辨率(8细分) | 4.5″ |
方位俯仰调整精度 | 10″ |
承载重量 | 10kg |
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