简 介：
基于圆柱面的白光干涉仪
大型快速的3D白光干涉测量
使用高精度的压电马达
全电动系统
可用于直径从70mm的不同气缸
使用MountainsMap影像地形分析数据
可选：标准化工作的特殊评测
SmartWLI-cylcheck参数
探测器
摄像头传感器: CCD GigE 1388x1038 Pixel, 17 fps
光源: 白光LED
系统组件
深层定位: 电动可调节到200 mm
X-Y定位: 圆柱直径为电动调节
可从70 mm调到155 mm
系统转动: 可手动旋转
Z-测量系统: WLI/压电式底座的测量范围为100um
测量转接器: 用于安装在气缸上的转接器
滚动箱 : 记录所有系统组件，包括工业PC对仪器的控制
评估: MountainsMap影像地形
镜头选项
放大倍数 10x 20x 50x
在平方微米的测量领域 1290x965 645x480 258x190
NA 0,3 0,4 0,55
z方向分辨率 <5 nm <5 nm <5 nm
XY方向分辨率 1,9 µm 1,0 µm 0,7 µm
选项
Cylanalyse 圆柱表面的分析评价
