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技术参数:
■油旋片式真空泵
型式 排气速度L/min 到达压力Pa
GLD-051 50 6.7×10-2
GLD-136A 135 6.7×10-2
GLD-201A 200 6.7×10-2
GHD-030 30 6.7×10-2
G-100D 120 6.7×10-2
GVD-050A 50 6.7×10-2
特点:高性能型,极限真空度低
适用范围:科学与化学实验、分析仪器,真空干燥系统,冷冻干燥系统,溅射系统与蒸发系统,涡轮分子泵或低温泵的前级泵
■膜片型干式真空泵
型式 排气速度L/min 到达压力Pa
DA-20D 20 5.3×103
DA-40S 40 19.9×103
DAL-5S 5 24.0×103
DAL-5D 5 6.65×103
DAL-10S 10 24.0×103
DA-60S 60 21.3×103
特点:无油排气清洁,设计紧凑,噪音低,易保养
适用范围:科学分析装置,晶片处理系统,零件处理系统,自动包装机器,真空夹盘,手柄、探头
■涡旋型干式真空泵
型式 排气速度L/min 到达压力Pa
DVS-321 265 ≤1.5
DVS-631 525 ≤1
DIS-090 90 5
DIS-250 250 1.6
DIS-500 500 1
特点:无油,极限真空度低,无需油的保养,节省能源
适用范围:真空干燥,真空包装,锁定负载排气,涡轮分子泵或低温泵的前级泵
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
中国科学院 | 2010-07-01 |
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