| 移动距离 | 10 mm each axis |
| 速度范围: 穿透模式 | 10mm/s - 100mm/s |
| 速度范围: 连续模式 | 0.5-500 µm/s |
| 速度范围: 步进模式 | 0.005-.5 µm/s |
| 分辨率： 连续模式 | 0.1 µm |
| 分辨率: 步进模式 | 0.001 µm per step |
| 穿透深度: 步进大小模式 | 0.5-5 µm per step |
| 长时间稳定性: | <4 nm drifting/hour @ 20° C |
| 操作电压: | 12V DC |
| 单向移动消耗, MAX. SPEED: | <300 mA |
| 总的移动消耗, MAX. SPEED: | <900 mA |
| 体积: 电机械组件: | 10.4(h) x 4.7(w)x 5.1(l) in. 265(h) x 120(w) x 130(l) mm |
| 体积: 控制器: | 3.9(h) x 3.9(w) x 4.9(l) in. 165(h) x 100(w) x 125(l) mm |
| 重量: 电机械组件: | 2.2 kg |
| 重量: 控制器: | 0.65 kg |
