| 视野大小 | 物镜放大率 | 视野 |
| 10x | 1168 x938 | |
| 20x | 584 x469 | |
| 50x | 234 x188 | |
| 100 x | 117 x94 | |
| 实时图像分辨率 | 1280 x 1024 像素 | |
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横向分辨率 可重复性的横向测量精度(3 σ) 可重复性的高度测量精度(1 σ) |
160 nm 10 nm, measurement of 5 μm line-space-pattern, obtive EC Epiplan-Apochromat 100x / 0.95 |
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| 光源 | 疝气灯（波长范围：400到700nm） | |
| 获取图像速度 | 7.5 fps (高速彩色模式); 超过100 fps (图形接线框模式) | |
| 色彩灰度级 | 3 x 8 bit (RGB) | |
| 高度测量 | 最大测量范围15 mm; 最小步进单位10 nm ; 16位精度 | |
| 最大测量高度 | 63 mm | |
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图像数据处理和测量 |
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