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美国FSM应力仪
-----应力测试专家,为行业优选应力仪!
Semi-Auto(半自动) Fully-Auto(全自动)
* 自动切换的双光路波长:650纳米和780纳米
* 测量方式:直径方向的扫描,可提供形貌图
* 扫描范围:对于200mm的硅晶圆为194mm
* 3-D形貌图:测量台有旋转功能,可通过控制软件中的参数输入来旋转测量台,以完成形貌图的测量(至少需要测量6个方向的扫描)
* 测量的硅晶圆尺寸: 200mm
* 应力测量的范围:1X107 dynes/cm2 至 4X1010 dynes/cm2(对于典型的硅晶圆)
* 测量数据输出:测量数据表格为客户提供的参数包括,料盒的编号、晶圆的编号、测量次数的编号、应力数值、晶圆曲率半径的数值、晶圆基片的厚度和镀膜的厚度,以及测量时间。测量数据可选择输出为Excel格式,文本文档格式,同时可以输出样品形貌图
* 客户包括Intel,Samsung,LG IBM等等。
有任何需要请联系赛伦科技(上海,北京都有办事处)
保修期: 根据合约
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 根据合约
免费仪器保养: 根据合约
保内维修承诺: 根据合约
报修承诺: 根据合约
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