SEMICON现场采访：检测痛点在于“看得到”与“看得清”，整合“One Hitachi”方案

在SEMICON China 2026上，仪器信息网采访了日立科学仪器（北京）有限公司市场部副部长周鸥。他介绍，日立本次展会带来了全新发布的SU9600扫描电子显微镜，是SU9000的升级型号。SU9600在1000伏减速模式下分辨率从0.7nm提升至0.6nm，探测器与扫描模式也进行了优化，可满足制程微缩对更高分辨能力的要求。此外，日立还展出了纳米探针、FIB等产品。针对半导体检测中的痛点，周鸥将其概括为“看得到”和“看得清”。看得到需要通过样品制样设备（如FIB、离子研磨系统）将目标点暴露出来；看得清则需要高分辨扫描电镜（如SU9600）及透射电镜来展示缺陷、分析成因，从而提升良率。对于化合物半导体和先进封装，同样需要离子研磨、FIB等多种手段进行检测。周鸥表示，日立高新技术集团联合多家兄弟公司共同参展，整合了光学缺陷定位、X射线缺陷定位、刻蚀及制造设备等资源，推出“One Hitachi”整体解决方案。未来一两年，公司的战略重点是提高售后客户满意度，健全售后服务体系；同时整合内部多事业部门产品，形成完整解决方案。他还呼吁半导体企业关注人才培养，厂商与客户共同提供培训机会，提升行业整体分析与检测能力。