SEMICON现场采访：梅特勒展示多款产品，AI赋能水分检测

在SEMICON China 2026上，仪器信息网采访了梅特勒托利多科技（中国）有限公司半导体行业细分市场专家魏子行。他介绍，梅特勒托利多本次带来了多款新品，包括去年年底上市的卡尔费休水分仪，采用数字化电极，抗干扰能力更强，支持即插即用和模块化设计，体积小巧便于集成；以及新款pH电极，同样采用数字化电极，具备高灵敏度，可轻松满足抛光液检测中0.02个pH单位的精度要求。随着制程向1nm逼近以及先进封装的发展，材料检测要求越来越高。魏子行表示，梅特勒托利多的电位滴定仪可实现千分之一的精度，通过方法开发为客户提供解决方案。同时，公司正在开发在线滴定产品，帮助客户实现从离线到在线的检测升级。在AI应用方面，新款卡尔费休水分仪具备预测功能，可通过前几次测试学习样品水分含量，后续测试可在1-2分钟内快速输出结果。针对车规级封装对高低温可靠性的要求，梅特勒托利多提供了DSC等解决方案。在国产化方面，公司正全力推进本土化进程，包括天平、电位滴定仪、DSC等设备已实现或正在推进本土化生产，同时工业台秤和在线仪器仪表也在本土化建设之中。魏子行表示，国产化是大趋势，公司希望在这一过程中帮助材料端和Fab端进行研发与制程微缩。未来，在线检测将成为重要方向，公司正开发在线滴定、在线TOC、在线余氯等模块，为客户提供更准确的在线检测方案。