AES/XPS/SIMS/GD-OES(MS)深度剖析定量分析
对测量深度谱数据进行定量分析,不仅可以确定样品的膜层结构,还可以获得其界面粗糙度、元素间的互扩散系数、元素的溅射速率、以及溅射深度分辨率等定量信息。
2022.12.28其他 367
专家约稿|辉光放电发射光谱仪的应用—涂层与超薄膜层的深度剖析
本文首先简单回顾了辉光放电光谱仪的发展历程及特性,然后通过实例介绍了GDOES在微米涂层以及纳米超薄膜层深度剖析中的应用,并简介了深度谱定量分析的混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型。