刚看到这条融资消息时,我第一反应是:谁?海瑞思?
超亿元B轮融资、工业母机产业投资基金领投、深创投继续跟投,资金全部指向同一个方向——RGA四极杆质谱产线扩建和下一代精密质谱研发。消息一出,科学仪器圈不少人都开始打听:这家公司到底什么来头?
更让质谱行业人士好奇的是:它什么时候开始做质谱?核心技术从哪来?一家给制造业产线做气密检测的企业,凭什么被产业资本重注?
带着这些疑问,我翻了翻公开资料,发现海瑞思进质谱的路子,跟传统玩家不太一样,它不是从实验室分析仪器切入的,而是沿着另一条线摸进来的:从气密性检测、示踪气体检漏,一步步延伸到气体成分识别和真空过程监测。
换句话说,它瞄准的不是传统液质、气质市场,而是动力电池、半导体、真空镀膜及高端制造产线里的工业质谱需求。

海瑞思以前做什么:气密检测才是基本盘
海瑞思成立于2008年,创始人为张应海。公司最早的核心产品是气密性检测仪,随后陆续发展出直压式、差压式、流量式、微流量式检测设备,以及防水检测、氢氮示踪检漏、自动化测试工装和多工位检测系统。
这些设备主要被安装在消费电子、智能穿戴、汽车零部件、医疗器械、家电和线束等产品的生产线上,用于判断壳体、阀件、电池包及零部件是否存在泄漏,属于典型的制造业质量控制设备。公司官网也将自身早期发展划分为气密检测产品、多通道及联网检测、消费电子供应链拓展等阶段。
早期第三方企业资料还显示,海瑞思一度经营真空贴合、屏幕维修、等离子清洗和各类非标自动化设备。这说明它最初更接近一家自动化测试和专机企业,但在持续调整中,气密、防水与泄漏检测逐渐成为最稳定的业务主线。
工商资料显示,在本轮融资前,深圳山海精密为公司第一大股东,张应海直接持股,另有员工持股平台及深创投系基金进入。
因此,海瑞思进入质谱并不是完全脱离原有业务的突然跨界。气密检测回答的是“有没有泄漏”,示踪气体检漏进一步回答“泄漏有多小”,而RGA则能够分析真空系统中“有哪些气体、含量如何变化、异常来自哪里”。从检测能力上看,这是从压力和流量测量,向分子组成分析的升级。
什么时候开始做质谱?
对于海瑞思究竟何时进入质谱领域,目前笔者从公开信息看到至少存在两套时间口径。
按照公司官网回溯的历史,海瑞思在2019年已经开始自研RGA质谱分析仪和氦质谱检漏仪,2020年四极杆质谱等新品陆续上市。但从同期能够查到的公开产品材料看,质谱业务当时尚未成为海瑞思的显性产品线。海瑞思2021年版官方产品册仍以气密、防水、微流量和自动检漏设备为主,产品目录中尚未出现清晰的RGA及质谱产品系列。
公开专利显示,海瑞思已在氦质谱检漏应用、离子源灯丝以及部分电源和电感结构方面展开布局。不过,现有专利尚不足以证明其在四极杆质量分析器、射频/直流驱动、离子检测器及微弱信号采集等核心系统上已经实现完全自主化。
专利 | 申请及授权信息 | 申请人/发明人 |
一种氦质谱式密封性泄漏的检测方法 | 申请号:202310498786.3;授权号:CN116296122B;申请日:2023-05-05;授权日:2023-09-22 | 深圳海瑞思;张应山、张应海、黄北石、郑润保 |
一种铱源灯丝及其制备方法 | 申请号:202410451863.4;授权号:CN118412265B;申请日:2024-04-16;授权日:2025-05-16 | 东莞海瑞思测控;张应山、张应海、沈显忠、李文锋 |
一种质谱用射频线圈电感量调节装置 | 申请号:202510266328.6;授权号:CN119786227B;申请日:2025-03-07;授权日:2025-05-09 | 深圳海瑞思;张应海、黄北石、沈显忠、李刚 |
一种质谱检测仪供电控制电路 | 申请号:202510630710.0;授权号:CN120150485B;申请日:2025-05-16;授权日:2025-08-08 | 深圳海瑞思;张应海、张应山 |
在产品端,2024年7月是一个更明确的节点。海瑞思在AMTS(国际汽车制造技术与装备及材料展览会)与AHTE(国际工业装配及传输技术展览会)上,以“HM系列在线质谱分析仪首发”的方式,集中展示HM-100 RGA四极杆质谱、HM-200在线质谱和HM-300电解液泄漏检测系统。

海瑞思是一家拥有十多年气密检测经验的企业,但其质谱业务真正走到市场前台,大约只有两三年时间。
为什么率先选择RGA,而不是传统分析质谱?
RGA残余气体分析仪,其核心通常是四极杆质量分析器,主要安装在真空腔体或生产设备中,实时监测残余气体组成、污染物、泄漏以及工艺过程变化。它与实验室我们常见的气相色谱质谱、液相色谱质谱不是同一个市场:GC-MS、LC-MS主要面向食品、环境、制药、临床等实验室分析;RGA更多进入半导体设备、真空镀膜、动力电池、显示面板、航空航天等工业场景;RGA用户关注的不只是检出限,还包括真空适配能力、响应速度、长期漂移、抗污染能力、灯丝寿命和连续运行稳定性。
海瑞思目前公开的HM系列已经覆盖多款RGA、在线质谱、电解液泄漏检测系统、多气体检漏设备及氦质谱检漏仪,部分产品质量范围从1—100 amu扩展至200或300 amu。其中,动力电池电解液泄漏检测是其质谱业务较早公开的落地场景。这与海瑞思原有的汽车零部件和电池包气密检测客户具有明显协同性,原有客户、产线经验和自动化集成能力,可以直接帮助新产品进入应用场景。
海瑞思选择RGA,实际上绕开了传统实验室质谱复杂的应用方法和渠道体系,从自己最熟悉的制造业检测场景切入。
工业母机产业基金为何投资一家“质谱公司”?
海瑞思曾于2023年获得深创投独家投资的数千万元A轮融资。此次B轮融资超过1亿元,由工业母机产业投资基金领投,深创投继续跟投,资金将用于RGA四极杆质谱产线扩建、新一代精密质谱研发及半导体、新能源、储能和氢能市场拓展。
在半导体、真空镀膜和新能源制造中,真空状态和微量气体变化会直接影响工艺稳定性、良率与设备安全。RGA可能像真空泵、真空计和检漏仪一样,成为生产装备中的关键功能模块。从这一角度看,资本押注的不只是质谱仪器本身,而是其进入高端制造设备、形成批量装机和持续服务收入的可能性。
海瑞思此次融资真正值得仪器行业关注的,并不只是国产RGA市场又多了一家公司。过去,科学仪器企业往往从实验室产品向工业在线分析延伸;现在,也可能出现另一条反向路径:拥有自动化设备、检漏技术和制造业客户的企业,开始向质谱、光谱及核心传感器等高价值仪器环节上探。
这类企业未必熟悉传统科学仪器行业的话语体系,却可能更熟悉生产线节拍、设备集成、售后响应和客户验证流程。如果能够补齐核心部件、定量性能和长期稳定性,它们有可能成为工业质谱市场的一支新力量。
国产质谱市场的新玩家,已经不再只来自传统分析仪器圈。
这条"从产线反攻仪器"的路,到底能走多宽?海瑞思的RGA,又能不能在半导体、电池产线上站稳脚跟?
欢迎在评论区聊聊你的看法,尤其是干过真空、做过检漏、在产线上摸爬滚打过的行业人士,我很想听听你们的判断。













