注重底层技术创新，增大半导体设备国产化比例——访埃芯半导体营销及应用总监黄怡

2024年3月20日至22日，备受瞩目的SEMICON China 2024在上海新国际博览中心隆重举行。作为全球规模最大、规格最高、最具影响力的展会，有1100家企业参展，覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等产业链，是半导体行业的开年盛会。其中，埃芯半导体携先进的半导体晶圆制造前道工艺量测产品亮相E7展馆-7375展位，重点展示了薄膜量测、关键尺寸量测、材料量测等先进设备。

展会期间，仪器信息网有幸采访到了深圳埃芯半导体科技有限公司营销及应用总监黄怡老师。在采访中，黄老师就埃芯在半导体量测或缺陷检测等方面的发展现状、埃芯在2023年取得的成绩以及2024年的发展规划、半导体设备行业在未来国际竞争中的发展趋势等话题进行了深入的探讨和分享。

以下是现场采访视频：

仪器信息网：本次是贵公司第几次参加Semicon China，参会感受如何？

黄怡老师：这个是我们公司第二次参加Semicon China ，然后的话我们公司作为一个成立三年的初创企业，我们已经参加了第二届Semicon China。目前我们公司是处于一个比较高速发展的状态，我们已经至少有7~8款的成熟的设备现在是推向市场。

仪器信息网：本次参会，贵公司带来了哪些半导体量测或缺陷检测等方面的解决方案或产品？其采用的主要原理或技术有哪些，有哪些创新？

黄怡老师：我们公司主要有两大块的技术，然后其中一个技术是光学的产品技术，第二个技术是X射线，这次我们有带来了两个相关产品技术的一个模型作为一个展示。这两个技术的话对我们公司来说，我们的创新点在于我们都是从底层算法去做一些开发，包括一些核心零部件全都是我们底层的科研人员他自己去做开发的，包括跟国内的一些供应商一起合作，所以这块的话我们埃芯的半导体是立足于底层去做产品开发的，这个是我们公司的一个最大的特点。

仪器信息网：相关产品主要有哪些具体的应用?解决了用户的哪些痛点?

黄怡老师：我们公司主要是一个立足于前端半导体的先进测量设备，它的应用主要是在一些比较先进的节点，比方说一些膜厚的测量，或者是一些材料的一些分析检测，这些都是我们半导体先进工厂是必须要用到的一些测量技术。

仪器信息网：相比于其他量检测技术有哪些优势和特点?在与竞争对手的较量中，贵公司如何保持自己的差异化优势?

黄怡老师：有关这个问题其实我们刚才有提到了一部分，埃芯最大的特色，就是我们最大的竞争点，就是立足于我们自主开发，就是从底层开始一层层，甚至是我们从最底层的物理公式开始做一些研发，所以这些都是我们埃芯可以立足于一个市场的根本，我们坚持自主研发，然后去创造更多的这些应用。

仪器信息网：您认为当前半导体行业对量测和缺陷检测设备的最大需求是什么?

黄怡老师：如果是量测的话，目前对国内半导体市场来说的话，对于一些尖端的测量技术，就是说我们是否能够支持更先进节点，比方说我们做到三维结构以后，这些最先进的节点怎么去给它测量的比较精准，这个是将来市场一个应用的非常重要的方向。

仪器信息网：贵公司在过去一年中，在中国市场取得了怎样的成绩?在2024年又有哪些战略或市场规划?

黄怡老师：我们公司其实发展速度是非常快的，去年一年我们其实取得了显著的成果，自公司成立三年不到的时间，我们其实已经有3~4款设备已经在客户端就是通过验证了。所以这块这是我们去年得到了客户对我们一个非常高的评价及肯定。2024年其实我们会有更多台的出货，也就是更多台的客户的装机，并且会正式进入产线去为客户服务。

仪器信息网：近年来，中美科技战愈演愈烈，特别是美日荷出口半导体设备的管制越来越严。面对全球市场的变化，贵公司有哪些长远的战略规划?

黄怡老师：长远的规划就说首先我们要力争国产化的比例要进一步增大，因为只有立足于所有的这些东西，包括算法，包括零件，包括甚至是一些比较尖端的这些服务方面，全都是立足于国产的本土化，这样的话我们才立足于目前的国际大环境之下，就不会被别人卡脖子。 

仪器信息网：根据您的观察和分析，您认为未来半导体量测和晶圆缺陷检测设备市场将呈现哪些趋势?

黄怡老师：目前中国半导体的量检测市场其实已经发展得非常蓬勃了，其实最早从2012年左右，其实已经开始有最先的国产设备已经是问世了，那就是发展其实已经10多年了。但是前10年的话就是说它发展速度并没有那么迅猛，但是近几年大家可以看到一个趋势，就近几年的半导体国产设备都是纷纷抬头了。所以从未来来看的话，整个国产设备的市场的话其实前景是非常好的，整个国产设备正在崛起。