“高精度电子背散射衍射探测器研制”国家重点研发计划项目启动暨实施方案论证会成功召开

2024年3月22日，国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项——“高精度电子背散射衍射探测器研制”项目启动暨实施方案论证会在项目牵头单位——浙江祺跃科技有限公司（以下简称祺跃科技）所在地杭州桐庐成功召开。

会议现场

会议邀请浙江大学张泽院士、中国科学院上海硅酸盐研究所陈立东院士，跟踪专家中国科学院高能物理研究所刘宇研究员、中国仪器仪表学会分析仪器分会吴爱华秘书长以及同行专家中国科学院宁波材料研究所卢焕明教授级高工、浙江工业大学郑遗凡教授和重庆大学辛仁龙教授出席。

陈立东院士发表讲话

会议伊始，陈立东院士、祺跃科技张跃飞总经理、桐庐科技局副局长钟罗洪发表讲话，预祝项目取得圆满成功，助力材料科学研究和技术创新，赋能新质生产力。

曾毅汇报项目总体实施方案

紧接着，项目负责人、中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员对项目总体实施方案进行了详细汇报，介绍了项目的基本情况、预期成果与指南符合情况、关键技术与实施方案、项目里程碑计划、项目实施机制与经费管理以及项目近期进展。

曾毅介绍，电子背散射衍射探测器（EBSD）作为扫描电子显微镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）的关键部件，可拓其应用范围，实现高精度微区晶体学显微结构分析，广泛应用于材料、地质、冶金和半导体等重要科研和生产领域。然而，目前我国在EBSD技术方面完全依赖进口。为打破国外垄断，同时满足纳米尺度晶体信息表征需求，亟需研制具有自主知识产权的高精度EBSD。该项目由祺跃科技、中国科学院上海硅酸盐研究所（以下简称上海硅酸盐所）、中国科学院国家空间科学中心（以下简称空间中心）和中国科学院电工研究所（以下简称电工所）共同承担，集各方优势技术，加快攻克高精度EBSD研制难题。

各课题负责人汇报

该项目分为三个课题，课题一由空间中心与电工所承担，空间中心副研究员郑福作为课题负责人，研究目标为实现衍射花样的高灵敏度成像，研制紧凑型、高动态范围sCMOS相机；课题二由上海硅酸盐所独立承担，上海硅酸盐所副研究员王墉哲担任课题负责人，研究目标为研制新型稀土掺杂的高电光转换效率磷屏，研制高精度菊池带边缘识别、增强与取向标定算法，实现探测器的高空间分辨率和高取向精度；课题三由祺跃科技与上海硅酸盐所承担，祺跃科技总经理张跃飞作为课题负责人，研究目标为实现EBSD与电镜集成，以及性能参数匹配与优化，验证并完整探测器在材料中的应用研究，形成EBSD探测器工程化生产能力。

三个课题紧密联系，互为支撑。课题一与课题二主要聚焦于提高衍射花样标定精度，课题三则致力于实现自动化集成。三个课题负责人分别汇报了具体研究内容和实施方案。

张泽院士作总结发言

汇报结束后，专家组对项目汇报内容进行了全面而深入的质询与讨论，形成一致意见，建议通过论证。此外，专家组也提出了宝贵建议，即以应用需求为导向，进一步明确项目攻关目标的定位与特色。最后，张泽院士作总结发言，他强调，EBSD的研制不仅要在“测得准、测得快”这一基础上不断精进，更要瞄准国家的重大需求，如解决高端制造业面临的残余应力测量难题，将技术研发与实际应用紧密结合。他认为，只有突出特色，国产EBSD才能在激烈的市场竞争中异军突起。

会议的圆满召开，标志着这一重大科研项目正式拉开了序幕，为EBSD国产化迈出了第一步。

项目成员合影

22日下午，在张跃飞总经理的带领下，与会人员参观了祺跃科技的研发实验室、工程化生产基地等。祺跃科技在前期的发展中积累了丰富的技术资源和产业基础，其原位扫描电镜设计研制能力、扫描电镜成像探测器研制共享平台与技术基础、工程化生产基地与示范应用中心、研发生产与销售服务体系等为项目的工程化生产奠定了坚实基础。

参观祺跃科技