中国电镜产业链系列走访第2站惠然科技：坚持自主研发，与本土供应链共同成长

秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于 2018 年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新 100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，在企业发展的关键时期“帮一把”。五年以来，天时地利人和，中国电镜产业迎来发展窗口期，国内电镜产业链企业们也纷纷抓住历史机遇，实现生机蓬勃的发展之势。2023 年迎来国产电镜的“全新时代”。

此背景下，“创新 100”项目组在2023年底走进13家中国电镜产业链代表性企业，邀请电镜专家联合走访，探寻中国电镜产业发展进展，为发展新阶段赋能，也为 2024 年即将在苏州举办的“第三届中国电镜产业化发展论坛”的内容筹备作前期调研。

交流现场

走访第2站，由北京大学分析测试中心电镜平台负责人鞠晶老师，仪器信息网材料物性组执行主编杨厉哲、营销服务中心经理韩永风、郭航等组成的走访项目组走进惠然科技有限公司（以下简称“惠然科技”），惠然科技副总裁刘航、高级销售赵宏伟、销售经理苏铎等接待了走访一行人员。

——企业发展进展

惠然科技总部位于北京，是以电子光学技术为核心，坚持自主正向研发，关注供应链国产化率，主要在科学研究、生物医药、新材料等泛工业领域，提供高分辨场发射扫描电镜及其衍生设备。

自2016年成立以来，公司始终坚持技术主导创新，目前公司拥有国际化研发队伍规模近百人，拥有多项自主知识产权，其中包括4项发明专利、15项实用新型专利、5项软件著作权，以及18项正在申请的发明专利等，已经成为创新引领型企业。2022年惠然科技电子光学原型机验证成功, 并于2023年7月顺利交付首代电镜产品FE-SEM整机“风”系列F6000；同年，与北京大学展开联合研发“聚焦离子束PFIB设备”。

区别于逆向仿制和复制，惠然科技汇聚国内外专家及高级工程师，基于全自主正向研发，在科研和工业领域拥有丰富的工程化和产品化经验，具备根据应用需求差别进行定制化的核心设计能力，致力于打破科技封锁，期望努力成为电子光学领域科学仪器和工业级检测设备解决方案的领先企业!

——产品技术与市场应用

惠然科技的优势在于具备雄厚的研发和生产实力，自主研发的电子光学系统具有出色的性能，技术指标可达国际同水准，国内领先。

产品源于古典文学《诗经》的灵感，惠然科技整机系列计划推出三个系列产品——“风”、“雅”、“颂”，并于2023年顺利交付FE-SEM整机“风”系列F6000。该产品具备以下主要优势：

1） 业界独创的WR-HybriCol^®磁电混合式电子束扫描偏转系统：可保证偏转精度，提高电子束偏转效率，提升扫描通量；

2） “视情式”WR-AdapCol^®电子光学镜筒设计：磁电复合式电子束聚焦、扫描偏转系统，大视野，高景深，应用于日常工作；纯电式超快扫描及偏转系统，提升单像素有效驻留时间，将SEM跨越至视频级纳米摄像机时代，应用于高通量作业，多行业全领域广谱适用；“物镜内置式”电子束减速系统，同级领先低压高分辨率成像，兼容磁性样品。

3） “能量选择型”WR-ExBCol^®双镜筒内探测器设计：镜筒光路上高效光电式检测器，及电子直读式固体检测器，双探头平行接受信号电子，并配备镜筒内能量过滤型信号电子检测系统，协同传统样品舱内ET检测器，精准选择收集全面信号，超强普适性。

当前，公司的工作重心主要聚焦于F6000产品的持续优化，目标是实现更稳定的性能，从而使其在市场上具备强大的竞争力。

FE-SEM整机“风”系列 F6000

在F6000的基础上，2023年12月17日，惠然科技发布了首台国产拉曼集成扫描电子显微镜F6000-RS，该款产品与卓立汉光联手研发，是一款基于FE-SEM F6000 场发射扫描电镜推出的拉曼集成一体化设备，通过耦合拉曼共聚焦光路进入真空样品仓，实现了样品在电子束和激光束之间的快速切换。SEM拥有6 mm无畸变视野及1 nm的分辨率，结合共聚焦Raman 2.5mm扫描范围及500nm横向1500nm纵向分辨率，是一个优秀的样品微观形貌观测与分子组分分析平台。实现从宏观到介观到微观的绝佳 SEM 成像与光谱分析使用体验，助力科研工作者进行深度的科学研究。

拉曼集成扫描电子显微镜F6000-RS

后续惠然科技将按计划陆续推出FE-SEM整机“雅”系列 Y6000和“颂”系列S6000。

企业参观

——国产电镜发展观点

坚持自主研发，全力提升设备国产化率——惠然科技在研发的每款产品都有其独特的设计理念和目标受众，如何将其做到极致，是公司面临的一项挑战。国产化电镜的突破，不光是自身要拥有核心的设计能力，在供应链、核心部件上要培养国产，建立生态体系，帮助供应商改善工艺、优化加工流程、提高良品率，是接下来几年需要持续改进和优化的地方。

遵循“国产优先”的原则，目前惠然科技的F6000整个设备零部件90%以上的供应商都是国产厂商。除公司自身建立的生态体系外，面对一些被“卡脖子”的零部件，公司也在积极与研究所和大学紧密合作，不断进行调试和研发，致力于最终的100%自主可控，真正实现完整的自主可控。

不断提高自身技术水平，与本土产业链共同成长——国产厂商的目标是实现技术独立，彻底摆脱对美国和日本等国家的依赖，将潜在风险降至最低。尽管国内厂商已经推出了一系列产品，如偏转器等，但他们在技术层面仍面临一些挑战。不过就国产电镜厂商的整体氛围而言，发展势头良好。面对与国外的技术差距，这些公司也在积极寻求解决方案，努力提高自身的技术水平和竞争力。

拥有核心技术，更要关注产品的发展。国产电镜的发展，不能仅考虑技术的领先，无视客户的需求，盲目追求技术领先，往往忽略产品化的发展。对于国产替代而言，惠然科技需要与客户链接更加紧密，在应用、操作上更理解客户需求，帮助客户提升研发效率、降低使用电镜的准入门槛，是惠然科技在商业上重点考虑的地方。

惠然科技也期望在未来的三到五年内，与国内企业共同走向成熟，与客户共同拓展新的应用，携手面对和抗衡国际市场的挑战，为国产电镜产业的繁荣发展贡献力量。

合影留念

附1：2024年4月，“第三届中国电镜产业化发展论坛”将在苏州举办，现进入论坛内容筹备阶段，为更好解决产业痛点，切实助力产业发展，现向广大网友征集论坛内容建议，欢迎大家积极参与，建议被采用的网友或专家将获得论坛定向邀请函，邀请现场与电镜业界专家、企业精英共议行业发展！

扫码填写论坛内容建议

或点击链接填写：https://www.wjx.cn/vm/hxJFe0g.aspx#

或直接邮件或电话沟通，邮箱：yanglz@instrument.com.cn  ，电话（同微信）：15311451191。

附2：2023年中国电镜产业链系列走访名单