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近日，合肥市科技局发布了2022年度第一批市科技重大专项“揭榜挂帅”项目立项名单(共9项)，合肥物质院安光所光学遥感中心科研团队申报的“集成电路高精密套刻检测光学系统研制及应用”项目成功上榜，获最高资助经费500万元。
项目团队聚焦半导体前道检测的关键技术问题，瞄准该领域骨干企业急需的高精密光学测量系统核心技术需求，发挥多学科交叉及工程设计优势，针对照明、成像和测焦三大模块技术指标和任务，开展套刻量测设备中核心光学系统的研制，首次承担“集成电路高精密套刻测量光学系统研制及应用”揭榜挂帅项目。
据悉，合肥市“揭榜挂帅”项目是针对科技发展战略重大问题和基础研究、核心技术薄弱环节，采取的科技创新举措，有利于激发科技创新主体和广大科技人员的创造潜能和创新效能，从而提高科技攻关的质量和效率。
[来源：合肥物质院]
2023.02.22
2024.02.18
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