高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择

高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。   高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 主要产品：SADP露点仪|在线露点仪| 肖氏露点传感器|肖氏露点仪|顶空分析仪|药品残氧仪|压缩空气露点仪|Mocon透氧仪|膜康透湿仪|PBI顶空分析仪|露点仪品牌|露点仪价格|露点仪批发|Hitech氧气分析仪|Hitech热导气体分析仪|Hitech氢气分析仪|露点仪厂家 

对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次： 

1.超高纯气体   气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。
2.高纯气体      气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。
3.洁净气体     气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 

   上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。 

英国SHAW在线露点仪Superdew3 

1． 量程可选如下：` 

 SUPER-DEW3 -R    红点（R）：   -80～-20℃ 

 SUPER-DEW3 -P    紫点（P）：   -100～0℃ 

 SUPER-DEW3 -G   灰点（G）：   -80～0℃ 

 SUPER-DEW3 -Y   黄点（Y）：   -60～0℃高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 

SUPER-DEW3 -RS    银点（S）：   -110～-20℃ 

2、英国SHAW在线露点仪Superdew3特性：  

★ 在线测定各种气体的露点温度 

★ 干燥气体时的保证精度为1PPM 

★ 室内空气中一分钟自动校准 

★ 大型背光式液晶数字显示 

★ 标准的4～20MA或0～1号输出 

技术参数 

二次表：（SuperDew） 

★ 显示精度：1% 

★ 安装类型：面板安装, 开口尺寸：135mmx66mmx175mm（深） 

★ 显示：3 1/2位带背光的数字显示 

★ 供电：220V AC @50Hz 

★ 输出：4-20mA标准信号输出, 两路继电器高低报警输出240V @3A 

★ 校准：在空气中自动校准 

★ 可任意调节的高低报警输出 

★ 传感器到仪表之间的距离可达1千米 

★ ISO 9002质量控制高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 

★ 可选量程:-100℃～0℃/-80℃～0℃ 

3．测量精度：+/-3℃ 

4．样气压力：1～30psi,本传感器可耐压到200Bar 

5．样气流量：1～5升/分钟，建议1升/分钟 

6．气路连接：1/4”或 1/8”卡套接头 

7．防    爆：传感器本安防爆，增加隔离栅选件可组成防爆检测系统 

更多高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择信息请致电英肖仪器上海021-66015906