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【新品发布】IBEX-300晶圆级超快三维磁场探针台助力磁随机存取存储器(MRAM)应用发展

仪器信息网 2019/05/14 13:42:42 点击 173 次


磁随机存储器(Magnetic random access memory,MRAM)是一种利用读取磁阻大小为原理的新型非易失性(Non-Volatile)随机存储器,与其他存储技术相比,MRAM在速度、面积、写入次数和功耗方面能够达到较好的折中,被业界认为是构建下一代非易失性缓存和主存的潜在存取器件之一。因此,近些年来MRAM引起了不少科研机构和企业的关注,相应的高端测试设备需求也随之增加,而Hprobe公司生产的IBEX-300晶圆级超快三维磁场探针台为一个不错的选择。

IBEX-300晶圆级超快三维磁场探针台

 

与传统的探针台相比,IBEX-300是专门用于晶圆片在磁场下的表征和测试的仪器。它基于专利技术的三维磁场发生装置来进行超快的磁阻测试,整个测试过程全自动完成,可以根据用户的测试需要来自定义测试程序,为磁性器件(传感器和存储器)的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。

 

 主要应用方向:

  • 磁性隧道结

  • 磁随机存取存储器

  • 集成磁传感器(Hall, GMR, TMR)

  • 智能传感器 

 主要测试模式:

  • 开路/短路 测试

  • AC/DC I-V, R-V 测试

  • AC/DC 击穿电压测试

  • 读/写脉冲测试

  • R-H 角度/幅值 回线测试

  • 误码率测试

  • 器件循环和稳定性测试

 

三维磁场发生装置

超快磁场扫描

 

三维磁场发生装置可以实现各磁场空间轴的独立驱动,也可以控制磁场在任意空间方向,以及产生旋转磁场等。磁场的扫描采样速率可由静态磁场控制到幅值超过10,000步/秒。

 

测试程序界面


良率测试结果示意图

 

目前Hprobe公司已经向全球多个半导体工厂交付了IBEX-300三维磁场探针台,同时面向客户开放部分样品测试。

[来源:QUANTUM量子科学]  
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