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日立高新发布全新肖特基场发射扫描电镜SU7000——高通量,更快获取各种样品信息

仪器信息网 2018/07/31 07:39:52 点击 897 次
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[导读] 7月31日,日立高新技术公司全球同步正式推出重磅电镜新品——肖特基场发射扫描电镜SU7000,它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间,真正实现了高通量的观察与分析。

  仪器信息网讯 7月31日,日立高新技术公司(以下简称“日立高新”)全球同步正式推出重磅电镜新品——肖特基场发射扫描电镜SU7000,它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间,真正实现了高通量的观察与分析。

SU7000外观图

  扫描电子显微镜(SEM)可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号,获得从微细结构到组成成分等各种信息,因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大,对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。

    近年,冷场技术几乎是高分辨观察SEM市场的主流,但近来SEM市场开始显现出一些微妙的变化,用户中有一些特定需求的声音逐渐浮出:“冷场SEM虽然分辨率高且稳定,但在超大束流分析时还有些不足”,所以在超大束流分析(如WDX)热场便成为一种新的需求。结合客户的心声,日立高新经过两年时间开发,推出了全新一代热场技术扫描电镜-SU7000。

  此次推出的SU7000采用全新设计的探测器,使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD),以设置最佳的观察与分析条件,而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统,可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号,缩短了样品观察和分析的时间,提高了测试效率。

  而且,SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道),进一步升级SEM控制系统,大幅提高了信号获取速度,由此实现了样品的高通量观察。

  它还标配超大样品仓,增设了附件接口,可适用于各种样品的观察与分析。

  据悉,日立高新将在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日(星期三 )~9月7日(星期五)在幕张展示中心(千叶县千叶市)举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000,预计每年全球销量有望达150台

  日立高新表示:“日立高新技术科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业全球第一为中期战略目标,今后仍将全力推动产品研发与市场推广,努力为全球制造业作出更大的贡献。作为先进、前沿的事业创新型企业,今后以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标,始终站在客户的立场,快速满足客户和市场需求。”

  【主要特点】

  1.在相同WD的条件下,可同时实现二次电子、背散射电子观察与EDX分析

  2.最多可同时实现6通道检测与显示

  3.在最大像素10240 x 7680时,也可获得图像数据

  4.同级别*设备中最多的可配置18个附件接口

  5.支持最低300Pa的低真空模式(选配)

  *空间分辨率在1 nm/1 kV以下

  【主要规格】

产品名称

SU7000

电子源

ZrO/W热场发射(肖特基热场发射

二次电子分辨率

0.8 nm(加速电压 15 kV

0.9 nm(加速电压 1 kV

加速电压

0.130 kV

放大倍率

202,000,000

束流

最大200 nA

样品台

X/Y/Z : 135 x   100 x 40 mm

  ■产品咨询

  日立高新技术(上海)国际贸易有限公司北京分公司

  生命科学系统本部 先端分析装置部

[来源:仪器信息网]
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编辑: 杨厉哲
日立高新
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