愿历尽千帆,归来仍少年
细胞计数仪
成果名称 | 微纳级半导体光/电特性三维检测仪 | ||
单位名称 | 高动态导航技术北京市重点实验室 | ||
联系人 | 付国栋 | 联系邮箱 | fuguodd@163.com |
成果成熟度 | □正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产 | ||
合作方式 | √技术转让 √技术入股 √合作开发 □其他 | ||
成果简介:
半导体光电探测器晶圆向大直径、高密度发展,检测要求呈多样化趋势,迫切需求大行程(≥300mm)、高定位精度(0.5μm)、能够提供高/低温、光/暗等环境的光/电特性检测仪器。针对上述需求,突破高精度直驱控制、微弱信号提取及处理、低温无霜测试控制、单光子信号源等关键技术,形成大行程、高精度半导体光/电特性检测仪及三维平台精准定位技术,在大面阵、高精度定位,长时高可靠控制,微纳级信号检测与处理,高精度低温无霜测试等方面达到国际先进水平。主要性能指标:(1)轴系:XYZR四轴(2)行程:300mm;(3)位移精度:1μm(4)温度范围:-60℃~200℃。成果已在核高基项目中获得应用。 | |||
应用前景: | |||
知识产权及项目获奖情况: |
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